相對(duì)濕度控制

濕度控制對(duì)于有效的ESD程序很重要，原因有兩個(gè)：

在較低的濕度水平（<30％RH）下，不會(huì)產(chǎn)生通常產(chǎn)生的靜電荷的耗散，因此增加了ESD事件的可能性。

材料（例如粉紅色聚）依靠空氣中的水分與材料的抗靜電劑結(jié)合，從而在材料的整個(gè)表面上形成微觀導(dǎo)電層。在較低的濕度（通常低于15％RH）下，這些抗靜電材料可能會(huì)帶電，從而產(chǎn)生ESD危害。

EPA中的最佳相對(duì)濕度為50％（正負(fù)10％）。

當(dāng)濕度低于RH的30％時(shí)，應(yīng)使用特殊的控制和程序（例如空氣電離和提高對(duì)摩擦帶電的更大潛力的認(rèn)識(shí)）來加工ESDS設(shè)備和組件。如果不是基于班次的工作，則設(shè)施ESD監(jiān)控器必須在每次班次或操作之前驗(yàn)證濕度，除非自動(dòng)低濕度警報(bào)系統(tǒng)正在監(jiān)控工作區(qū)域。強(qiáng)烈建議設(shè)施空氣處理器包括自動(dòng)加濕器以保持濕度控制。EPA應(yīng)將相對(duì)濕度控制在30％至70％的相對(duì)濕度范圍內(nèi)。

空氣離子發(fā)生器

空氣離子發(fā)生器可以通過對(duì)周圍區(qū)域的分子進(jìn)行充電來中和絕緣體或隔離物體上的靜電荷，從而使累積的電荷被中和。當(dāng)無法使用前述方法和設(shè)備將工作站上的所有物體正確接地或作為這些方法的支持時(shí)，通常使用空氣離子發(fā)生器。

例如，大多數(shù)膠帶都是非導(dǎo)體，如果在緊鄰ESDS設(shè)備的地方使用，則需要電離器來中和膠帶上的電荷。在1級(jí)設(shè)施中進(jìn)行工作時(shí)，應(yīng)始終使用電離器，并且在需要時(shí)，必須在2級(jí)設(shè)施中使用離子發(fā)生器。在某些產(chǎn)生靜電的制造操作中特別需要離子發(fā)生器，例如蒸氣脫脂，真空包裝，噴涂保形涂層，波峰焊以及使用加壓氣槍。此外，當(dāng)濕度低于RH的30％時(shí)，電離器是公認(rèn)的靜電抑制劑。任何對(duì)250伏以下的損壞敏感的零件都要求在將零件從其ESDS包裝中取出時(shí)隨時(shí)使用離子發(fā)生器。需要校準(zhǔn)空氣電離器以驗(yàn)證平衡和性能。

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