靜電對(duì)IC封裝有何危害？

靜電對(duì)IC封裝有何危害？首先，靜電的原因隨處可見(jiàn)。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和工業(yè)生產(chǎn)的高度自動(dòng)化，靜電在工業(yè)生產(chǎn)中的危害已經(jīng)十分明顯。它可能會(huì)導(dǎo)致各種障礙，限制自動(dòng)化水平的提高并影響產(chǎn)品質(zhì)量。這是結(jié)合集成電路封裝和生產(chǎn)過(guò)程中我廠實(shí)際情況產(chǎn)生靜電的主要原因。

　　 1.高電阻材料主要用于生產(chǎn)車間的建筑和裝飾材料

　　集成電路生產(chǎn)過(guò)程需要使用潔凈車間或超潔凈車間。除塵顆粒的粒徑需要從先前的0.3μm改變?yōu)?.1μm，并且塵埃顆粒的密度為約353個(gè)顆粒/ m 3。為此，除了安裝各種集塵設(shè)備外，還必須使用無(wú)機(jī)和有機(jī)無(wú)塵材料來(lái)防止揚(yáng)塵。但是，建材的電氣性能不被視為指標(biāo)。設(shè)計(jì)規(guī)范中沒(méi)有規(guī)定工業(yè)企業(yè)的潔凈車間。IC廠潔凈車間主要使用的室內(nèi)裝飾材料有：聚氨酯彈性地板，尼龍，硬質(zhì)塑料，聚乙烯，塑料墻紙，樹(shù)脂，木材，白瓷板，搪瓷，灰泥等。上述大多數(shù)材料是高分子化合物或絕緣體。例如，有機(jī)玻璃體的電阻率為1012?1014Ωcm，聚乙烯體的電阻率為1013?1015ncm。因此，電導(dǎo)率相對(duì)較差。由于某種原因，靜電不易通過(guò)它們泄漏到大地，從而導(dǎo)致靜電積聚。

　　2，人體靜電

潔凈室中操作員的不同動(dòng)作和來(lái)回走動(dòng)，鞋底和地面始終緊密接觸和分開(kāi)，人體的各個(gè)部位也都活躍而摩擦。無(wú)論是快走，慢走還是小跑，都會(huì)產(chǎn)生靜電，這就是所謂的步行電荷。人體移動(dòng)后會(huì)站起來(lái)。，人體所穿的工作服與椅子表面接觸后會(huì)分開(kāi)，還會(huì)產(chǎn)生靜電。如果無(wú)法消除人體的靜電電壓并觸摸IC芯片，則可能會(huì)在不知不覺(jué)中導(dǎo)致IC擊穿。

　　3.空調(diào)和空氣凈化引起的靜電

　　 由于IC生產(chǎn)需要45-55％的相對(duì)濕度，因此必須實(shí)施空調(diào)并同時(shí)進(jìn)行空氣凈化。除濕后的空氣通過(guò)一級(jí)過(guò)濾器，中效過(guò)濾器，高效過(guò)濾器和風(fēng)管送入潔凈室。通常，主風(fēng)道的風(fēng)速為8?10m / s，并且風(fēng)道的內(nèi)壁是粉刷的。當(dāng)干燥空氣和風(fēng)道，干燥空氣和過(guò)濾器相對(duì)移動(dòng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生靜電。應(yīng)該注意的是，靜電對(duì)濕度更敏感。另外，半成品和集成電路產(chǎn)品的運(yùn)輸在包裝和運(yùn)輸過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生靜電，這是靜電的因素之一。

　　其次，靜電對(duì)集成電路非常有害。一般來(lái)說(shuō)，靜電具有電位高，電場(chǎng)強(qiáng)的特點(diǎn)。在靜電充電和放電過(guò)程中，有時(shí)會(huì)形成瞬態(tài)大電流放電和電磁脈沖（EMP），從而產(chǎn)生具有寬光譜的電磁輻射場(chǎng)。另外，與常規(guī)的電能相比，靜電能相對(duì)較小。在自然的帶電放電過(guò)程中，靜電放電（ESD）參數(shù)是不可控制的，并且它是一個(gè)隨機(jī)過(guò)程，很難重復(fù)。因此，它的作用經(jīng)常受到人們的影響。忽略了。尤其是在微電子技術(shù)領(lǐng)域，它對(duì)我們?cè)斐傻奈：κ求@人的。據(jù)報(bào)道，每年因靜電造成的直接經(jīng)濟(jì)損失高達(dá)數(shù)億元。靜電的危害已經(jīng)成為微電子工業(yè)發(fā)展的主要障礙。

　　在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間中，由于灰塵在芯片上的吸附，將大大降低IC的產(chǎn)量，尤其是超大規(guī)模集成電路（VLSI）的產(chǎn)量。IC生產(chǎn)車間的操作員穿著干凈的工作服。如果人體帶有靜電，則很容易吸收灰塵。如果這些灰塵進(jìn)入工作現(xiàn)場(chǎng)，將影響產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品性能，并大大降低Ic。屈服。如果吸附的塵埃的半徑大于100μm并且線寬為約100μm，則當(dāng)膜厚度小于50μm時(shí)，最有可能報(bào)廢產(chǎn)品。

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